1.激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是10 μm，1 μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]:是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测…[详情]

1、重复定位精度测量原理重复定位精度测量主要用到干涉仪的线性测量，即对待测平移装置的定位进行多次测量，比较得到同一位移指令下的定位精度。线性度测量是激光干涉仪的基本测量，原理如图所示。将一个角锥反射镜安装到分光镜上，组成线性干涉镜，它形成干涉仪的参考光路。另一个角锥反射镜…[详情]

1、平面度 平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，转化为高度的变化，按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，就可以得到整个平台的平面度。 [详情]

1、角度测量原理 角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。激光干涉仪角度镜能实现±1…[详情]

镭测科技推出的LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术，技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成…[详情]

1、直线度测量原理 双频激光测头输出光经过直线度干涉镜，按偏振态被分成两束，以一定角度发散后入射到直线度反射镜。光束从直线度反射镜返回，沿新光路回到直线度干涉镜后，合成一束回到光线接收端，进行干涉测量。通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，就可以得到导轨相对于激…[详情]

1、垂直度测量原理 垂直度测量的主要采用同一个测量基准轴对两个标称正交坐标中的每一个轴测量直线度。对两个直线度测量值进行比较，算出两个轴之间的垂直度。共同的参考基准是直线度反射镜的光学基准轴。需要注意的是，两次测量直线度之间既不移动也不调整。两次直线度测量过程中至少一…[详情]

1、平行度测量原理 平行度测量由两组直线度测量组成，两次测量都以直线度反射镜的光学轴为参考基准。需要说明的是，要得到两轴的平行度，要在两个正交平面内沿每个要被比较的轴测量直线度。因此，平行度或平行线测量实际是四次直线度测量，每次的步骤和方法同测量直线度一样，如下图所示…[详情]