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数控机床校准

激光干涉仪用于直线度测量
发布时间:2019-02-01浏览次数:646

1、直线度测量原理
双频激光测头输出光经过直线度干涉镜,按偏振态被分成两束,以一定角度发散后入射到直线度反射镜。光束从直线度反射镜返回,沿新光路回到直线度干涉镜后,合成一束回到光线接收端,进行干涉测量。
通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移,就可以得到导轨相对于激光光路参考线的直线度误差。直线度可以在水平面或垂直面上进行,这取决于直线度干涉镜和反射镜的布置,如下图所示。
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2、数据采集和处理
数据采集方法:使待测机床轴移动到若干个不同位置(或“目标”),然后测量直线度误差。可以从一个目标位置移动到下一个目标位置时,暂停几秒,在此过程中进行测量。
3、直线度测量用组件
直线度测量用到的激光干涉仪组件:
激光干涉仪测头、直线度光学镜组、直线度测量附件、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。
4、直线度测量应用
数控机床/坐标测量机主轴直线度误差测量
机床/直线电机导轨直线度测量
机床工作台直线度测量
动态直线度测量

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