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数控机床校准

激光干涉仪用于角度测量
发布时间:2019-02-19浏览次数:591

1、角度测量原理

        角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜,并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后,会导致角度测量的两束光的光程差发生变化,而光程差的变化会被激光干涉仪探测器探测出来,由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。激光干涉仪角度镜能实现±10°以内的角度精密测量。

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水平轴俯仰角度测量样图                                             水平轴偏摆角度测量样图

2、角度测量用组件
        角度测量用到的激光干涉仪组件:
        激光干涉仪测头、角度测量光学镜组、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件

3、角度测量应用

       三坐标测量机校准
       倾斜工作台 / 准直平台测量(切片机/校正机等)
       XY工作台的俯仰和扭摆评估(印刷电路板钻床、LCD校正机等)



 

 

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