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非接触式激光干涉仪

LY1000非接触式激光干涉仪

产品描述:

高灵敏度,不需要靶镜,非接触式测量
可测的微、小、轻、薄、黑、透、易变形、热表面
对被测物表面反射率无严格要求,可测“黑”表面
采用激光自干涉原理,测量结果可溯源
无外部光学器件,操作灵活方便
可非接触测量物体的位移、振动,以及材料膨胀系数等。

服务热线:400-8168-900
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   传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜,以反射测量光线获得高精度的测量结果。镭测科技推出的国际首创的LY1000型非接触式激光回馈干涉仪,无需靶镜,仅利用待测工件反射甚至是散射的微弱光线即可实现高精度测量,是真正意义上的非接触式测量。 除可用于传统激光干涉仪适用的测量目标外,还可适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的目标测量,如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数、振动等。
        
        以下是本产品独特的技术或特点:

1、高灵敏度,可实现对非配合目标的非接触式测量
2、准共路技术有效抑制仪器内部环境变化引起的漂移,仪器具有较小的零漂。
3、具有较高的分辨率和较大量程,测量结果可以溯源。

       
LY1000激光回馈干涉仪的分辨率可达纳米量级,量程可达2m,如果加扩束镜,可达数米。它同干涉仪一样,测量结果可以溯源到光波长,从而无需标定。
产品由激光测头、信号处理电箱和软件组成。


(欲了解更多信息,请阅览本网站解决方案栏目中的:非接触式激光干涉仪(激光回馈干涉仪)  )



型号镭测LY1000
激光头尺寸300mm×126mm×90mm
激光头重量4kg
激光工作波长1064nm
激光功率1~5mW
激光光束直径3~5mm
工作温度范围+10℃~+35℃
储存温度范围+15℃~+50℃
系统组成激光头、控制箱、环境补偿传感器、连接电缆
激光稳频精度1×10-6
线性测量范围2m
线性测量精度1×10-6
分辨率2nm
被测物反射率10-7~1
最高测量速度50mm/s

 



恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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压电材料测量


回馈干涉仪用户手册2019.pdf

镭测激光干涉仪简介.pdf




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