1、平面度

      平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，转化为高度的变化，按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，就可以得到整个平台的平面度。

2、平面度测量用组件

        平面度测量用到的激光干涉仪组件：
        激光干涉仪测头、角度测量光学镜组、平面度测量组件、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。

3、平面度测量应用

       测量坐标测量机台面以及各种平板的表面形状。