光刻机干涉仪的维护和保养

做为一种非常精密的检测仪器，应在日常使用中对其进行基本维护和保养，尽量保证其测量精度，延长其使用寿命。

注意：

1.仪表应该放在干燥，清洁，无振动的环境中使用。

2.在移动光刻机干涉仪时，为防止导轨变形，应将其托起，再移动。

3.不使用时，仪器光学部分应放置于干净干燥的器皿中，以防霉变。

4.试着不要去取仪器的反射镜，分光镜等，如果要取的话，一定要小心，用科学的方法清洗。

5.传动件，例如导轨，丝杆，螺母，轴孔等，应该保持良好的密封。因此如有需要，应采用精密仪表。

6.在使用过程中应避免强旋，硬扭等情况，合理调整零件。

7.防止导轨面丝杆刮伤或腐蚀，使之不失油。

日常维护：

1.应妥善放置于干燥、清洁的室内，防止震动，仪表移动时应托起托轮，以防导轨变形。光学零件不用时，应存放于清洁干燥盆中，以防止霉变。反射器、分光镜一般都是不允许使用的，在需要使用时，要先用备件毛刷仔细掸去灰尘，再用脱脂棉擦拭干净的棉球，然后滴上乙醇和乙醚的混合物。

2.传动部件应具有良好的耐久性。特别是导轨、丝杆、螺母及轴孔部分，均采用精密油表。

3.使用时，各调节部位要用力适度，不可强旋、硬拉。

4.导轨面丝杆要防刮、防锈，用完后，要保持不失油。

5.仪器零件经精密调整后，应涂红漆，不得随意转动。