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双频激光干涉仪的优势有哪些?
发布时间:2018-12-07浏览次数:614

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种基于外差技术的高精度测量仪器,它克服了单频激光干涉仪易受环境影响的弱点,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。由于这一特点,双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定,既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

    单频干涉仪最根本弱点是搞干扰能力弱,空气湍流、机床的油雾、切屑的干扰都会引起干涉信号变化从而影响测量精度,在测试环境恶劣,测量距离较长时,这一缺点十分突出。其原因在于它是一个直流测试系统必然具有直流光平和电平零漂弊端,这种无规律的变化很难通过系统的自动调整来补偿,限制了单频激光干涉仪在高精密测量领域的应用。

    而双频激光干涉仪是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,双频干涉仪的干扰能力强,精度高,测量结果可靠,在精度要求极高的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。如2017年人类首次直接探测到来自双中子合并的引力波就是使用的双频激光干涉仪。

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