使用激光干涉仪：

1.直线度测量

激光干涉仪的直线度测量有两个镜组从0到0测量。1m至4m测量长程从1m至30m。就短距离而言，距离是指直线干镜和直线反射镜之间的距离，即可以测试的轴长。从长远来看，距离是激光头和直线反射器之间的距离。在这两种情况下，激光干涉仪的直线度测量范围为±2.5mm。线性干涉镜与反射镜成对匹配。因此，元素不能与其它线性工具进行交换。每一个线性干涉镜和反射镜都标有独立的序列号。

①沿水平轴直线度测量

水平轴直线度检测，在激光干涉仪的激光和直线度反射器之间安装直线度干扰镜。激光发射的光束将通过直线度干扰镜。此时，光束将被分成两个相同频率的光源。两束激光器通过直线度反射镜反射到干扰镜中，然后返回到激光器中。通过移动直线度反射器干扰两个相同光源的光束。激光器将检测干扰光波，以确定直线度干扰镜移动方向的偏差。并记录设备安装和调试的偏差值。

②测量垂直轴线度

垂直轴度检测，引入垂直转向镜，将激光干涉仪的水平光束转化为垂直光束，检测原理与水平轴度检测相同。

2.线性测量

激光干涉仪的线性测量可以检测机床轴的多个精度指标，包括定位精度，重复定位精度，反向间隙等。线性测量镜组包括两个线性反射镜和一个线性分光镜。

激光干涉仪应设置线性测量，将线性反射镜与两个紧固螺纹的分光镜连接起来。这种组合元素被称为线性测量。“线性干涉镜”，可作为激光束的参考路径。线性干涉镜位于激光器和线性反射器之间的光束路径上。激光束进入线性干涉镜，然后分为两个光束。一个光束（称为参考光束）进入连接分裂镜的反射器，第二个光束（测量光束）通过分裂镜进入第二个反射器。射击。两个光束再次反射回分裂镜并返回激光头，其中一个探测器监测两个光束之间的干扰。