激光干涉仪以光波为载体，测量精度高，测量速度快，测量范围大，其光波长可直接定义为米，并可追溯到标准。所以激光干涉仪广泛应用于数控机床，精密仪器等精密仪器的质量控制和校准，以及科研开发、设备制造等领域。

激光干涉仪的工作原理

       激光干涉仪发射单频光束，光束进入线性干涉镜后，将光束分成两束，然后反射回分光镜，然后再次收集回激光干涉仪。如果不改变光程差，则在激光干涉仪和相消性干扰的两极之间找到稳定的信号。如果光程差发生变化，将计算并用于测量两个光程之间的差异。

当高压连接到阳极和阴极时，激发混合气体形成激光束，一些光通过放大激光强度传输到输出激光束。其中，为了达到平衡，激光管的长度由加热器控制，以保持激光频率的稳定精度±0.05ppm此时，激光器可以在输出稳定后进行干涉测量。现在大多数现代位移干涉仪器都使用氦霓虹灯(HeNe)激光管输出633纳米波长。

激光干涉仪的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量和使用寿命都与激光干涉仪的性能有关。激光干涉仪的测量精度是激光干涉仪Z的基本参数，其频率(波长)的准确性和稳定性是保证。