激光干涉仪主要用于数控设备精度检测、定位精度、反向间隙、导轨线性误差检测等。该系统可以测量和分析动态性能，如速度、加速度、振动和爬行。

激光干涉仪特点：

1、机床外部方便、安全，电缆拖拉不影响光学镜面。

2、高精度测量可在接通电源5分钟后进行。

3、所有光学元件的外壳都是阳极硬化铝合金，重量轻，坚固耐用。

4、国际标准激光波长的可追溯性是利用干涉原理测量所有激光测量功能。

5、重复测量和分析数控机床的定位精度和反向间隙；

6、ISO230-2/VDI341/JIS330/GB1091等标准分析数据；

7、根据用户选择的补偿方法，手动补偿数控机床的螺距误差；

8、配有Fanuc、Siemens等数控系统的数控机床，测量运动程序；

9、可以自动监测环境空气温度、湿度、气压等参数；

10、动态测量振幅和频谱(位移-时间曲线-时间曲线，加速度-时间曲线)。

11、长期激光频率稳定性为0.05ppm。

12、线性测量范围为0-40米。

13、微米分辨率：0.001。

14、速度：≥每秒4米。

15、测速精度±0.05%。

以上就是小编今日为大家介绍的激光干涉仪特点，感谢大家耐心的阅读！