激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表，广泛应用于精密制造、测量等行业，在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要作用。激光干涉仪测量精度的关键因素如下？

激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关？

在激光干涉仪的实际使用中，需要确认其在各种测量应用中的真实精度水平，以确保测量数据的准确性和可靠性。激光干涉仪的测量读数与激光波长有关，因此激光频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。此外，激光干涉仪环境条件补偿系统（压力、温湿度传感器）的读数精度对测量精度有重要影响。

综上所述，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：

1.激光频率(波长)和频率稳定性；

2.测量读数软件系统造成的误差；

3.反射镜、角锥棱角误差；

4.温湿度、压力传感器误差；

当然，具体测量任务中的测量精度也与测量人员、现场环境条件等因素有关。

激光干涉仪的校准和精度验证。

激光干涉仪在购买和投入使用前应验证其关键性能。随着使用寿命的增加，激光干涉仪（包括环境补偿系统）的性能可能会因老化或使用不当而下降，从而影响测量精度。因此，有必要定期校准激光干涉仪测量系统的关键性能参数，以确保在精确测量应用中获得准确的数据结果。根据测量验证程序的要求，需要定期校准激光干涉仪的激光频率、测距误差、测角误差和环境补偿传感器。