介绍激光干涉仪。

激光干涉仪以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、测量速度分辨率高的特点。其光波波长可直接定义为米，并可追溯到标准。因此，激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制和校准、科研开发、高端设备制造等领域。

使用激光干涉仪。

激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参数的高精度测量。

在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量和性能检测，以及位移、速度、加速度、振幅和频率的动态分析。

激光干涉仪的工作原理。

激光干涉仪发射单频光束，将光束射入线性干涉镜，分为两个光束射向镜，然后反射回分镜，重聚回激光干涉仪。如果光程差不变，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。如果光程差发生变化，则计算并用于测量两个光程之间的差异。

当高压连接到阳极和阴极之间时，通过放大激光强度，刺激混合气体形成激光束，将一些光传输到输出激光束。其中，为了实现平衡，激光管的长度由加热器控制，激光频率的稳定精度保持在±0.05ppm以内，激光器可以在稳定输出后进行干扰测量。目前，大多数现代位移干涉器使用氦霓虹激光管，波长633纳米。

激光干涉仪的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量和寿命都与激光干涉仪的性能有关。激光频率是激光干涉仪基本的参数，其频率（波长）的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。