激光干涉仪采用激光干涉法测量，可快速、高精度测量，可作为校验台、坐标测量机等定位设备精度和线性指标Z的常用标准仪器，掌握一些激光干涉仪的使用技巧，使测量工作事半功倍。

在实用激光干涉仪中，应确定每个测量应用程序的真实精度，以确保测量数据的准确性和可靠性。由于激光干涉系统的测量读数Z的值与激光波长有关，激光频率的准确性和稳定性是激光干涉测量精度的保证。此外，环境条件补偿系统（压力、温）测量系统的准确性直接影响到Z终端的测量精度。

综上所述，影响激光干涉仪测量精度的主要因素有:①激光频率(波长)和频率稳定性；②测量软件系统引起的误差；③反射镜。角锥棱角误差；④温湿度。压力传感器误差；当然，测量工作的准确性与测量人员、现场环境条件等因素有关。

激光干涉仪的使用注意事项。

1、激光干涉测试仪必须由专人保管，机械技术组必须由专人检查，其他人不得随意使用，以防损坏，降低精度。

2、激光干涉仪应设置专用仓库，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器必须保持干燥。所有仪器都不能被压制。当受潮或温度过高时，仪表箱不能靠近炉子或加热管。

3、小心轻放置激光干涉仪，避免强冲击振动。放置仪器前，检查脚架是否牢固。员工在整个操作过程中不得离开仪器，以防发生事故。

4、当温度变化较大且有风时，应避免激光干扰。在潮湿的环境中，这一过程将对测试结果产生重大影响。