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激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?
发布时间:2021-12-14浏览次数:47


激光干涉仪采用激光干涉法测量,可快速、高精度测量,可作为校验台、坐标测量机等定位设备精度和线性指标Z的常用标准仪器,掌握一些激光干涉仪的使用技巧,使测量工作事半功倍。

在实用激光干涉仪中,应确定每个测量应用程序的真实精度,以确保测量数据的准确性和可靠性。由于激光干涉系统的测量读数Z的值与激光波长有关,激光频率的准确性和稳定性是激光干涉测量精度的保证。此外,环境条件补偿系统(压力、温)测量系统的准确性直接影响到Z终端的测量精度。

综上所述,影响激光干涉仪测量精度的主要因素有:①激光频率(波长)和频率稳定性;②测量软件系统引起的误差;③反射镜。角锥棱角误差;④温湿度。压力传感器误差;当然,测量工作的准确性与测量人员、现场环境条件等因素有关。

激光干涉仪的使用注意事项。

1、激光干涉测试仪必须由专人保管,机械技术组必须由专人检查,其他人不得随意使用,以防损坏,降低精度。

2、激光干涉仪应设置专用仓库,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器必须保持干燥。所有仪器都不能被压制。当受潮或温度过高时,仪表箱不能靠近炉子或加热管。

3、小心轻放置激光干涉仪,避免强冲击振动。放置仪器前,检查脚架是否牢固。员工在整个操作过程中不得离开仪器,以防发生事故。

4、当温度变化较大且有风时,应避免激光干扰。在潮湿的环境中,这一过程将对测试结果产生重大影响。


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