激光干涉仪采用激光干涉法测量，可快速、高精度测量，可作为校准仪、坐标测量机等定位设备精度和线性指标Z的常用标准仪器，掌握一些激光干涉仪的使用技巧，会事半功倍。

激光干涉仪使用技巧

1、Z轴激光快速瞄准法。

在激光干涉线性测量中，与X.Y轴准直相比，Z轴测量中激光路的准直难度更大。特别是当Z轴距长距角较大时，为了保证激光束通过反射镜反射回激先探测器，其强度可以满足光强测量的要求，准直激光路通常需要很长时间。

轴光束快速矫直方法是一种具体的校准方法:Z轴放置在低端，利用激光外壳中间的瞄准槽将分光镜放置在Z轴上，左右移动Z轴，观察激光路径，保证激光转向后与Z轴大致平行，左右移回Z轴，放置线性反射器和光靶(可以覆盖在反射或分光镜上，帮助入眼和控制光路)。

初步调整后的激光干涉系统将分光镜固定在分光镜上。通过整体调整光靶精确对准后，取出分光镜光靶，使Z轴上升，观察激光对反射光靶的偏离程度。同时，通过尾翼调整，激光对准反射镜光靶。如果在这个过程中，由于尾翼的调整，分光镜覆盖了一些激光，那么Z轴停止上升，回到起始位置，重新调整整体

2、选择辅助工具。

虽然激光干涉仪的安装部件相对完整，但在实际使用过程中需要额外配置一些辅助工具：

①开发低高度云台架。

有些机器的高度基本上与地面平行，所以在测量Z轴时，如果激光器被放置在地面上，激光器被激光干扰，由于三角架本身的高度，将不可避免地失去测量范围。

②选用磁铁底座。

磁表底座是激光干涉仪常用的辅助工具。选择时要注意表座工作面必须有与安装镜组安装杆相匹配的螺孔。主磁吸面位于底部和侧面的表座上应选择两个(主磁吸面位于底部的用主磁吸面位于底部的表座)。测量时，侧吸盘通常有利于激光干涉镜组的安装。

3、灵活使用镜组。

激光干涉仪具有线性测量镜组、角度测量镜组、平面度测量元件、直线度测量元件、垂直度测量镜组、激光准直辅助镜等。在实际使用中，一些不同功能的镜组可以相互结合，以满足测量需要。例如，角度测量镜组中的反射镜也可以取代线性测量镜组中的反射镜；使用激光准直镜可以缩短矫直时间。

此外，各种测量镜组也可用于其他测量工作，通常采用分光镜或光学直角器，以改变光路，方便测量。这就要求了解仪器的性能，掌握测量技能，在保证测量精度的前提下学习使用。

4、必须配备专用计算机。

激光干涉仪通常与笔记本电脑配套使用，但如果不注意特殊问题，无论是软件冲突还是计算机病毒，往往会影响测量和使用。