1、直线性测量。

在激光干涉直线度测量中，采用两组透镜：测量距离从0.1m到4m，测量距离从1m到30m。至于轴长，距离是指直线度干涉镜与直线度反射镜之间的距离，即测轴长。对于长时间来说，距离指的是激光头与直线度镜之间的距离。同时，激光干涉仪直线度测量范围均为±2.5mm。直线性的干涉镜与反射器是相互配合的。所以，不可与其他直线工具交换要件。每个直线干涉镜和反光镜都标出了独立的序数。

①沿着水平轴直线度测量。

横向轴线直线度检测，在激光干涉仪的激光器与直角反射镜之间安装直线度干涉镜。从激光射出的光束经过一条直线度的干涉镜，这段光束会被分为两个同频率的光源，经过一条直线反射镜，将两束激光反射汇聚到干涉镜上，然后再返回。转动直线度反射镜，同一光源的两束光线都会发生干涉。激光将探测出干涉光波，以判断直线度干涉镜运动的方向，产生多大的偏差。将偏差值记录下来，用于设备的安装、调试。

②垂直轴线上的直线度测量。

竖直轴直线度检测，引入垂直式转向镜，将激光干涉仪水平光束转化为垂直光束，其检测原理与横轴直线度检测相同。

2、线性测量。

利用激光干涉线性测量技术对机床轴系进行多种精度检测，包括定位精度、重复定位精度、反差等。用来进行线形测量的镜组有两条线性镜和一条直线光谱仪。

激光器干涉仪要进行线性测量，用两个紧螺纹的分光镜连接一个线性镜。这一结合要件称为“线性干涉镜”，可用作激光光束的参考路径。在激光和线反射镜之间形成一条直线干涉光通道，激光光束可以射入线性干涉镜，然后被分成两个光束。一条光(称为参考光)射到连接分光镜的反射镜，而第二道光(测量光)则通过分光镜射入第二个反射镜。二道光束再反射回分光镜，再汇聚后再回到激光头，其中一个探测器将监测两道光束之间的干涉。