进口激光干涉仪原理及用途
发布时间:2021-09-08浏览次数:228
进口激光干涉仪原理及用途。
利用光波作为载体的进口激光干涉仪具有精度高、测量速度快、测量范围大、分辨率高等优点。进口激光干涉仪在数控机床、钻床、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准、科研开发及高端设备制造中得到广泛应用。
测量原理。
发射单频光束。线形干涉镜射入后,被分成两束射入反射镜,再反射回分光镜,Z返回激光干涉。在相长干涉和相消干涉的两极间保持一定的光差,进口激光干涉仪能够得到稳定的信号。这一变化可以用来测量两个光程之间的差值,并计算光差。
如何工作?
一种混合气体在阳极和阴极的高压联接下产生一种产生激光光束的混合气体,通过增强激光强度向输出激光传输部分光。其中,激光稳频的精确度通过加热器控制激光管长0.05ppm。这时,输出稳定后,可进行激光干涉测量。现在,激光干涉仪都采用的是氦激光管,输出波长为633纳米。
激光器的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量、寿命等参数直接影响激光器的性能。频率是激光干涉Z的基本参量,频率(波长)的精度和稳定性是进口激光干涉仪测量精度的保证。
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