进口激光干涉仪具有测量速度快、精度高的优点，是校准数控机床、坐标测量机和其他定位设备精度和线性指标的常用标准设备，掌握激光干涉仪的使用技术，使测量工作倍增。

 在激光干涉线性测量中，与x、y轴准直相比，z轴测量中激光光路的准直更加困难。特别是在z轴距长的情况下，为了保证激光束在反射镜反射后返回激先探测器的强度满足测量对光强的要求，准直激光光路通常需要很长时间。

 轴光路快速准直方法具体如下：Z轴位于低端，利用激光外壳中间的瞄准槽，将分光镜放在Z轴上，向左、向左、向左移动，观察激光光路，确保激光转向后与Z轴大致平行，向左、向右移动，使之与Z轴平行。

 进口激光干涉仪初步调节后，固定分光镜，安装在分光镜上，通过整体调节精确瞄准光靶后，取下分光镜光靶，使Z轴上升，观察激光在反光镜光靶上的偏差，同时通过整体调节使激光对准目标，再进行整体调节。

选择辅助工具。

虽然进口激光干涉仪的安装部件相对齐全，但在实际使用过程中需要额外配置一些辅助工具:

1.低高度云台架的开发。

一些机床工作台的高度基本上与地面平行，因此在测量Z轴时，如果将激光放置在地面上的原始三角架和云台面上，由于三角架本身的高度，测量范围肯定会丢失。

2.选择磁基。

磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具，选择时要注意，表座工作面必须有螺孔与安装镜组安装杆配合，将主磁吸面位于底部和侧面的磁吸面分别选择两种(实验室或工厂多采用主磁吸面位于底面的表座)，在测量时，往往侧吸的表座更有利于激光干涉仪的安装。

3.镜组使用灵活。

该仪器包括线性测量镜、角度测量镜、平面度测量组、直线度测量组、垂直度测量镜、激光准直辅助镜等。在实际使用中，可以结合一些功能不同的镜组来满足测量需求。