概述

  随着智能制造技术的发展，检测已经成为生产过程中越来越重要的一部分，位移检测是检测手段之一。一般来说，设备的检测精度应达到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工，其检测精度至少应小于1微米，因此位移测量系统已经成为智能制造设备的关键部件之一。

 目前常用的位移测量系统有光栅、容栅、磁栅、激光干涉等，其中激光干涉精度较高，是微纳位移测量的较佳选择。根据结构的不同，激光干涉仪可分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪，根据结构的不同可分为传统的空间光传输和光纤激光干涉仪。

双频激光干涉仪干扰的原理和特点。

采用双频激光干预技术和光纤传输技术，根据激光多普勒原理，可以测量各种物理量，如位移，振动，速度，加速，变形等。

它结合了双频激光干涉和光纤激光两大特点:

采用交流放大器，更稳定，更耐环境干扰；

高倍电子细分可以达到纳米分辨率；

采用光纤传输，安装方便，更容易实现多轴同步测量；

测量较大速度为5m/s/s；

输出包括网口，USB接口，ABZ接口等。

以上就是小编为大家介绍的双频激光干涉仪全部内容，希望对大家能有所帮助。