白光干涉仪与激光干涉仪的区别是什么？

  尽管激光干涉仪和白光干涉仪属于干涉仪的一大类，但它们之间有很大的不同！下面小编会告诉你它们的不同之处。

激光干扰。

基于迈耳孙干预原理的激光干涉测量：

(1)激光干涉仪主机输出的激光光束经分光镜后，被分成两束激光(线偏振光)；

(2)由于两束激光频率相同，振动方向一致，相位差不变，因此两束激光反射镜反射镜反射镜与出射光(红线)平行而形成的干涉条件；

(3)角锥形反射镜每移动一半激光波长，就会产生完全明暗干涉。测量的干涉条纹数乘以激光半波长。

  通过对机床、直线电机、滑台、模具、自动化设备、机器人等的测量设备的研究，从激光干涉原理可以看出激光干涉法的应用。

白色干涉。

  白光干涉仪是利用白光干涉技术原理，将光源发出的光经过扩束准直后，被分光棱镜分成两束，其中一束通过被测表面反射回来，另一束经过光束干涉，再通过测量表面的三维形状。

  用白光干涉法测量三维显微结构。主要用于半导体制造及包装工艺测试，3C电子玻璃屏具及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、制造执行系统设备等。可对各种物体表面从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面进行测量，提供从纳米到微米工件的粗糙度、平面度、微观几何轮廓、曲率等。为ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准提供300多个2D、3D参数作为评价标准。

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