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双频激光干涉仪

LH2000双频激光干涉仪

产品描述:

专为计量检测用户打造的高精度双频激光干涉仪
性能卓越的高精度线性位移、长度检测标定工具

服务热线:400-8168-900
立即咨询

    满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻机用激光干涉测量系统为基础,

    在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时,

    将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,

    一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;

    典型频差6±1MHz,测速高达2m/s。

 系统组成:
     LH2000激光测头及附件
     环境补偿单元
     LaserLC测量软件
     测量镜组(选配:位置度测量镜组、直线度测量镜组、角度测量镜组等)
     光学调整附件
     三脚架及其他测量附件
 

(欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异,请阅览本网站解决方案栏目中的:双频激光干涉仪




激光头尺寸330mm×110mm×95mm
激光头重量3.3kg
激光光束直径6mm
激光功率 >0.5mw
真空波长632.99nm
频差可定制 典型值6.0MHz
工作温度范围+15℃~+35℃
储存温度范围+15℃~+45℃
激光稳频精度±0.02ppm
线性测量范围40m
线性测量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
分辨率1nm
测量速度2m/s
工作电源220V/50Hz



恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。


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LH2000用于三坐标机校准

LH2000用于数控机床校准

 

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