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高精度位置闭环反馈系统
国产替代
光纤引出 安装方便 适合狭小空间
可按需选择单通道或双通道测量版本
| 激光光源 | HeNe激光器 |
| 稳频方式 | 双纵模热稳频 |
| 激光波长 | 632.8nm(两路激光波长分别提供) |
| 激光功率 | 0.1~0.3mW/轴 |
| 激光稳频精度 | <±1ppb 1minute <±2ppb 1hour <±20ppb 8hours |
| 输出信号格式 | RS422差分方波(AQB) 1Vpp sin/cos模拟信号 |
输出信号周期 | 158nm(平面反射镜) 316nm (角锥反射镜) |
最高测量速度 | 1m/s(平面反射镜) 2m/s(角锥反射镜) |
测量范围 | 0-1m |
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