根据《双频激光干扰仪系统误差概述》，双频激光干扰仪系统误差大致由仪器误差、几何误差（或安装误差）和环境误差组成。在这三个误差中，几何误差主要与光路调试和光程大小有关，一般从几十纳米到几百纳米；环境误差几乎与测试的环境参数（温度、压力、湿度等）成正比，通常达到几十纳米到几微米；仪器误差主要是指双频激光干扰仪器本身的误差，一般可通过静态噪声进行评价。双频激光干扰仪器的仪器误差可控制在2nm以下（3Sigma）。

下图为四轴干涉仪和五轴干涉仪的测试结果。测试条件如下：

1、安装四轴干涉仪和五轴干涉仪VC-E减振器上。

2、光路温度波动控制在0.01℃以下。

3、采用1024细分VME系统分辨率为0.15nm。

4、采样频率2KHz，连续取样5分钟matlab计算其3sigma值。