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激光干涉仪在计量检定领域的应用
发布时间:2022-08-11浏览次数:101

激光干涉仪以光波为载体,以激光为长度基准,精度高,高灵敏度测量仪器。激光干涉仪不仅广泛应用于数控机床等高端设备,激光切割机,光刻机等,在计量检定领域也可以展示自己的技能,今天小编就为大家介绍一些常见的案例。

1.测长机检定

传统的长长机示值误差主要由量块校准,受环境因素影响较大,校准条件要求较高,测量范围大于1m长度测量机需要分段校准,效率低。激光干涉仪的校准不仅可以提高效率,还可以通过环境补偿单温度进行校准,压力,补偿湿度和材料温度,提高校准精度。

2.三坐标测量机

随着三坐标测量机技术的更新和发展,采用了传统的量块技术,球板不能满足大型三坐标测量机的检测要求。测量精度高,测量范围大,测量数据丰富,适用于测量三坐标的几何误差。

3.检定位移传感器

激光干涉仪检定位移传感器已成为测量精度高的发展趋势,反应速度快,易于数字测量。在测量过程中,设计了一个精确的导轨,同步检测反射镜和测量传感器,形成位移传感器自动检定系统的对比激光干涉仪(标准)对定长位移进行往复试验。

4.图像仪定位精度测量

传统的图像仪检测方法采用线纹尺比对法,检测精度低,测量系统误差大,缺乏原因分析功能,改进方向不准确,检测效率低。激光干涉仪的使用可以快速检测图像仪的定位误差,计算分析测量数据,利用软件生产补偿文件快速实现二维平面多点补偿,大大降低了设备制造过程中精度检测的难度,提高检测效率和补偿效率。



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