光刻机干涉仪的维护

  干涉仪：根据光的干涉原理制造的仪器。在未来，自己光源的两束光都被分离，通过不同光程合并就能显示干涉条纹。光刻机干涉仪能准确、细致地测定光谱的波长和细观结构。

维护：

1.仪表在干燥、清洁的室内应适当放置，以防止震动。支座在移动时应支承仪表，避免导轨变形。

2.光学零件不能用时，应存放在干净的干燥盆内，防止霉变。镜面和分光镜不允许擦洗。清洗时，用备件刷仔细擦去灰尘，然后用脱脂清洁棉球滴的酒精及混合物轻轻擦拭。

3.传动部件应该润滑良好。请勿使用T5仪表油润滑导轨、螺杆、螺母和轴孔。

4.用时，各调整部位应用力适中，不能强旋、硬拉。

5.在使用后，导轨上的丝杆应防止刮伤，锈蚀，不失油。

6.仪表调校完毕，涂上红漆，不得随意转圈。

光刻机干涉仪应用

(1)几何精度检测可用于直线度、垂直度、纵偏角、平面度、平行度等。

(2)位置精度检测和自动补偿技术可实现对数控机床的定位、重复定位和微量位移精度的检测。光刻机干涉仪采用RS232接口，既能自动测量机器误差，又能通过RS232接口实现对线性误差的自动补偿，比一般的补偿方法节省了大量时间，避免了人工计算和数控输入造成的操作误差，同时大大选择被测轴上的补偿点，使机床达到精度。

(3)光刻机干涉仪实现了数控转台精度的检测与补偿、补偿及转台自动测量。它能自动测量任意角度位置、任意角度间隔，精度达到±1。这项工程已采用了新标准。相对于传统的自准多面体方法，不仅节省了大量的测量时间，而且得到了整轴精度曲线，了解了各旋转轴的精度，并给出了按相关标准进行处理的结果。

(4)双轴定位精度检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可以同步测量大型龙门移动数控机床，利用双伺服驱动某轴运动定位精度，并通过RS232接口自动补偿两轴线性误差。

(5)数控机床动态性能测试软件采用RENISHAW动态测试与评估软件，主要应用于激光干涉测量机床振动分析、滚珠丝杠动态性能分析、伺服驱动系统响应分析、导轨动态性能分析(低速爬行)等。